2020-07-02
什么是微波等离子体MPCVD?
Industry Encyclopaedia source:整合于网络,侵删 author:沃特塞恩微波源

基于微波等离子体的MPCVD-CVD是一种新型的合成金刚石制备方法。它主要以甲烷(CH4)的含碳气体作为碳源。前体的分解和金刚石层的沉积是通过高功率的高频率(2.45GHz)的微波源激励产生的等离子体的作用而发生的。常规的硅晶片(100)通常作为衬底,其在沉积过程中被加热到800-1000℃的温度。


MPCVD设备系统
MPCVD设备系统图示

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