2020-07-14
等离子体表面材料灰化/剥离: 用射频等离子体还是微波等离子体?
Industry Encyclopaedia source:整合于网络,侵删 author:沃特塞恩微波源

如果ESD(静电放电)或基板热暴露是主要问题,考虑用微波等离子体;如果你正在处理无机物,考虑用射频等离子体。详细比较参照下表:




射频等离子体灰化/剥离

微波等离子体灰化/剥离

过程类型

化学、物理等离子的结合,温度结合

主要通过电中性自由基进行化学蚀刻

选择性

各项异性

各项同性

流率(在压盘上)

中等

流率(在架上)

流率(在弹仓里)

开槽 - 中等

已关闭 - 

均匀度

在架上-好

一般使用旋转台或ECR腔改善

开槽弹仓-合理

样本自适应偏置


紫外光辐射度

中等~高

低~零辐射度

衬底加热

中等~

~

等离子体室电极

架上的样品处理

弹仓里的样品处理

是,开槽

是,开槽或关槽

有机物的去除

无机物去除


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